新型電子級多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)

多晶硅材料是以工業(yè)硅為原料經(jīng)一系列物理化學(xué)反應(yīng)提純后達(dá)到一定純度的電子材料，其具有高純度的特點，在整個生產(chǎn)過程中，對產(chǎn)品質(zhì)量的控制要求很高。在競爭激烈市場價格越來越低的態(tài)勢下，更好的壓縮成本，也是多晶硅生產(chǎn)廠家關(guān)注的重點。

多晶硅生產(chǎn)多采用改良西門子法，也是用來生產(chǎn)半導(dǎo)體級多晶硅的主要工藝方法。還原爐是改良西門子法的核心設(shè)備，多晶硅的硅棒就是在其中“生長”出來的，因此還原爐的沉積環(huán)境的潔凈度特別關(guān)鍵。


在多晶硅的生產(chǎn)設(shè)備中，還原爐運行好壞直接影響多晶硅質(zhì)量和生產(chǎn)成本，一般為降低耗電和成本，采取調(diào)整工藝參數(shù)、提供進(jìn)料溫度、提高冷卻水溫度、清洗鐘罩等方法。一套好的鐘罩清洗裝置在多晶硅生產(chǎn)中是非常必要的，因為鐘罩清洗的光潔度和清潔度如果不夠，會導(dǎo)致硅芯擊不穿或產(chǎn)品質(zhì)量污染。

目前多晶硅鐘罩的清洗方式多種多樣，有高壓清洗、化學(xué)溶劑低壓清洗、機械拋光等。多晶硅還原爐清洗系統(tǒng)始于2009年，德高潔清潔設(shè)備有限公司是國內(nèi)第一家研發(fā)設(shè)計制造并獲得實用新型專利的。目前其設(shè)備應(yīng)用也是覆蓋了國內(nèi)90%的多晶硅企業(yè)，為多晶硅行業(yè)提供了幾十套還原爐清洗系統(tǒng)。

經(jīng)過多年來客戶的實際應(yīng)用和需求，通過總結(jié)借鑒國內(nèi)外鐘罩及其它罐類清洗烘干經(jīng)驗，對污染和潔凈的概念和控制有了更全面的認(rèn)識。德高潔充分發(fā)揮高壓水清洗和吸除塵的技術(shù)優(yōu)勢，研發(fā)半導(dǎo)體級多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)，實現(xiàn)了鐘罩的全自動清洗和烘干操作。

1、設(shè)備性能可靠

德高潔電子級多晶硅鐘罩清洗系統(tǒng)性能可靠，核心部件、元件和附件原裝進(jìn)口。

2、自動化程度高

自動化程度高，用PLC+觸摸屏柔性自動控制系統(tǒng)，能實現(xiàn)對還原爐鐘罩的自動清洗和烘干，清洗烘干時間、溫度、清洗、漂洗等工藝參數(shù)可以根據(jù)需要自行調(diào)整設(shè)定，同時具有半自動或手動功能。

一次吊裝在一個工作臺上完成全部清洗、烘干過程，可實現(xiàn)遠(yuǎn)程對樓下設(shè)備的控制和主要參數(shù)監(jiān)控。

3、安全環(huán)保

全密閉式清洗烘干系統(tǒng)，使污染物(廢氣、廢水等)在受控的條件下，按設(shè)計出口排放，基本消除了對現(xiàn)場及操作人員的污染。

德高潔多晶硅鐘罩清洗系統(tǒng)按防爆要求設(shè)計，加多處安全互鎖功能(樓上、樓下操作，缺水保護(hù)，壓力水超壓保護(hù)、漏電保護(hù)，水風(fēng)工作互鎖等)。

4、適應(yīng)范圍廣

可以在一套系統(tǒng)實現(xiàn)多種型號鐘罩的清洗烘干，現(xiàn)在已經(jīng)使用的有四種。

升級后的多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)可根據(jù)不同的鐘罩、不同車間廠房不同能源條件，提供個性化設(shè)計，節(jié)省了人力物力，大大降低勞動強度，這也對提高多晶硅品質(zhì)產(chǎn)生重要意義。